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蒸镀机系列-FS600

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产品参数

整机尺寸 ≤1.2(L)×0.9(W)×2(H)(单位:M)

极限真空 ≤2×10 -5Pa 保压12小时 压强≤5P a

膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95% 速率稳定性≥95%

基片尺寸 ≤210×210mm

可适配电子束蒸发系统


适用范围

钙钛矿器件研发、光电器件结构优化等,兼容晶硅钙钛矿器件制作。


产品特色

小方块.jpg 膜厚均匀性高,重复性强,速率稳定性高。

小方块.jpg 有8+16组蒸发源,可做到4源共蒸。

小方块.jpg 灵活性好,兼容性高,不超过210mm面积皆可切换。

小方块.jpg 可蒸镀腐蚀性钙钛矿材料,对材料限制性低。