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蒸镀机系列-FS300

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产品参数

整机尺寸 ≤1.1(L)×0.9(W)×2(H)(单位:M)

极限真空 ≤3×10 -5Pa 保压12小时压强≤5P a

膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95%

基片尺寸 ≤100×100mm


适用范围

钙钛矿材料、二维材料、光伏太阳能电池的器件制备等。


产品特色

小方块.jpg 高集成设计,整体尺寸小,操作系统在工控机或触摸屏界面完成。

小方块.jpg 恢复工作真空快,大气至5.0x10-4Pa≤15分钟。

小方块.jpg 有6组蒸发源,可实现金属和有机材料同腔室蒸镀。