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蒸镀机系列-FS-G1-6

FS--G1-6网页.jpg

产品定位

中试线


适用范围

OLED材料量产前验证、微显示器件的生产等。


核心技术

真空密封技术、高精密对位技术、膜厚及真空压力精确控制技术。


产品特色

小方块.jpg 一体化程度高,适配性强,采用团簇式结构,可对接多种功能的设备。

小方块.jpg 智能性强,操作系统植入误操作互锁程序,可避免操作失误。

小方块.jpg 效率高,采用较大容积的坩埚和双探头设计,避免了经常性的开腔添加材料和更换晶振片。

小方块.jpg 可实现自动取放基片以及更换mask。